产品详情
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规格
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*1 流量精度可低至2 SCCM，因此实际气体低于2 SCCM以下不保证精度。
*2 在25℃和≤ 1.0 × 10-3 Pa (A)条件下的保证值。
*3 设定时间为 MFC 输出信号和 N2 气体。其他细节定义遵循“SEMI标准 E17-1011章节 4.1.4”的设定时间。
*4 压力扰动必须小于 20% 的压力变化/秒和 ±70 kPa/秒（±10 PSI/秒）。
*5 EtherCAT® 是注册商标和**技术，由德国 Beckhoff Automation GmbH 授权。
*1 Bin#14-15 的流量精度和重复性只保证 N2 校准气体。
*2 在 25℃ 和≤1.0 × 10-3 pa (A) 条件下的保证值。
*3 设定时间为 MFC 输出信号和 N2 气体。其他细节定义遵循“SEMI 标准 E17-1011章节 4.1.4”的设定时间。
*4 压力扰动必须小于 20% 的压力变化/秒和 ±70 kPa/秒（±10 PSI/秒）。
*5 EtherCAT® 是注册商标和**技术，由德国 Beckhoff Automation GmbH 授权。
公司简介
深圳市伟烨鑫科技有限公司专注于工业类产品与设备的销售业务。
我们为客户提供来自多个工业领域的优zhi品牌产品，包括工业自动化设备、实验室器材、电子产品、检测仪器、电子元件、气动液压、机械传动、仪器仪表及耗材辅料等。
我们致力于满足不同行业客户的生产和运营需求，为客户提供卓yue的产品品质和专业服务。
欢迎与我们联系，选购您所需的工业类产品和设备。