SIMCO-ION AeroBar MP 型号5635 离子棒深圳市伟烨鑫科技有限公司

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产品名称：SIMCO-ION AeroBar MP 型号5635 离子棒
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产品厂商：SIMCO JAPAN
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简单介绍：

详情介绍：

适用于ISO Class 1, 10nm制程的扩展型棒式离子发生器

产品概述

型号5635 AeroBar MP离子棒是专为**半导体制造工艺等需要管理100nm以下微小颗粒的洁净环境而开发的超低颗粒对应型除静电设备。该产品在保持**除电性能的同时，将粒子产生控制在极低水平，满足*先进制程节点的严格要求。

核心特点

■ ****的单晶硅电极技术

采用具有全球****应用实绩的单晶硅电极，实现超低颗粒特性
从根本上避免电极材料带来的金属污染风险

■ MP（脉冲调制）技术

独特的脉冲调制方式，高效输送离子至目标，实现高除电性能
即使在100mm近距离使用，仍能保持极小的电位摆动特性
整根离子棒长度方向离子平衡均匀性优异

■ 智能自动控制

内置智能控制电路，实时自动管理离子发生状态和离子平衡
确保长期稳定的除电效果，减少人工干预

■ 维护简便

电极可1/4旋转快速拆装，为更换式电极
大幅缩短维护工时，降低设备停机时间

■ 安装优势

电位摆动极小的MP方式特性，使设备安装调试更加简便
长期保持离子平衡在管理基准范围内，提高工艺稳定性

■ 专为半导体前段工艺设计

提供符合半导体前段工艺EFEM（设备前端模块）标准长度的离子棒
24V DC驱动，内置控制器，结构紧凑

■ 全球技术支持网络

可利用SIMCO-ION在全球建立的高水平技术支持网络

技术规格

项目	规格参数
输入电压	24V DC ±10%
输出电压	*大约13.5kV p-p（可调）
安装距离	100mm～1000mm（无气体吹扫）
离子发生方式	电晕放电式 MP（脉冲调制）方式，调制频率1～33Hz
离子平衡	自动平衡调整方式棒正下方位置差异＜±10V (在600mm距离时)
电极材质	单晶硅电极（可更换）
吹扫气体	洁净干燥空气或氮气(N₂)
*大吹扫压力	310kPa
臭氧产生量	＜0.05ppm（24小时累计值）
信号输出	报警I/O，集电极开路输出
外观尺寸	高78mm × 深34mm × 长度可选（450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350mm）
外壳材质	ABS树脂

应用领域

**半导体晶圆制造工艺
100nm以下制程节点的洁净室环境
EFEM（设备前端模块）集成
需要超低颗粒产生的精密制造过程
对金属污染极其敏感的生产环境

注：本产品为专业工业设备，具体选型和应用建议请咨询SIMCO-ION技术支持团队。

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