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  • 产品名称:局部清洁除静电离子发生器QuadBar型号 4635

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  • 产品厂商:SIMCO JAPAN
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一、产品概述

SIMCO-ION QuadBar 型号 4635 是一款高洁净度局部除静电离子发生器,在经典型号 4630/4632 的基础上优化升级,进一步提升了除静电性能与操作便捷性。其核心优势在于适配空间受限、气流条件复杂的场景(如半导体光罩除静电),通过紧凑设计与精准离子控制,在狭窄环境中实现高效静电消除,同时满足半导体行业对洁净度的严苛要求。

二、核心特点

  1. 自动离子平衡,免手动调试
    采用 SIMCO 独有的 IsoStat 技术,可自动实时调节离子平衡,无需人工干预调整,长期保持稳定的离子输出状态,减少运维成本。

  2. 双电源兼容,适配多场景
    支持 24V DC 与 24V AC 双输入电源(均允许±5%电压波动),可灵活匹配不同设备的供电系统,适用于半导体生产线等多电源环境。

  3. 高洁净电极,保障半导体**
    电极采用 单晶硅材质(可更换),无金属杂质脱落风险,配合稳态直流电晕放电技术,满足半导体器件生产对洁净度的高要求,避免因电极污染影响产品良率。

  4. 超紧凑设计,安装灵活度高

    • *小安装距离仅 7.6cm(3英寸),可近距离贴近待除电物体(如晶圆、光罩);
    • 机身尺寸小巧(不含空气接口时,高33mm×宽33mm×长91mm),重量仅108g,能轻松嵌入设备狭小空间,实现多样化布局。
  5. 双滤芯可选,兼顾效率与维护
    配备两种空气辅助滤芯,适配不同除电需求:

    • 标准滤芯:电极带防护鞘,减少灰尘附着,延长清洁周期,适合常规场景;
    • 喷射跨通道滤芯:通过中心孔高速喷射离子化气体,除静电速度更快,适合高需求场景。
  6. 独立气流系统,不受环境气流影响
    采用全新设计的 跨通道吹扫气流路径,自带独立空气输送系统,即使在环境气流微弱或不稳定的空间(如密闭设备内部),也能通过精准气流将离子输送至目标区域,实现长距离、高速除静电。

  7. 报警输出功能,联动设备管控
    支持报警信号输出至 FMS(工厂管理系统)或制程设备控制器,当设备出现故障(如离子失衡、电源异常)时,可实时触发警报,保障生产线**运行。

三、详细技术规格

项目 规格参数
离子发生方式 电晕放电式(稳态直流技术,Steady-State DC)
电极材质 单晶硅(可更换,使用寿命约2-3年,视使用环境而定)
洁净度等级 24V DC 供电:ISO 14644-1 Class 1;24V AC 供电:ISO 14644-1 Class 2
兼容吹扫气体 清洁干燥空气(CDA)、氮气(N₂)
空气连接 4mm 内径管道(建议搭配2微米及以上精度过滤器)
空气流量 0-25 LPM(压力范围7kPa-48kPa)
输入电压/电流 24V AC:50/60Hz,典型电流0.1A(功耗2.4W);24V DC:典型电流0.025A(功耗0.6W)
除静电时间(30cm距离,15LPM气流) 标准滤芯:<15秒;喷射跨通道滤芯:<6秒
离子平衡 ±20V(15cm距离);±50V(30cm距离)
可连接数量 搭配14-1535变压器:*多4台;搭配4030控制器:*多15台
覆盖范围 12英寸×12英寸(30.5cm×30.5cm,基于EOS-ESD STM 3.1 2000标准测试)
合规认证 CE、RoHS 2.0

四、适用场景与目标行业

1. 目标行业

  • 半导体制造:涵盖前端晶圆加工、后端封装测试环节;
  • 精密电子:光罩(Reticle)生产、微型元器件组装等。

2. 典型应用

  • 半导体晶圆搬运机器人:安装于机器人上下方,同时消除晶圆正反面静电;
  • 光罩存储/传输设备:在密闭狭小空间内,对光罩表面进行精准除静电;
  • 精密仪器内部:嵌入设备狭小腔体,消除部件摩擦产生的静电(如传感器、镜头)。
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