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产品介绍
SIMCO ION 4214在线式氮气离子izer是一款专为高纯度氮气环境设计的超高洁净度静电消除设备，可**适配扩展ISO Class1,10nm 超高洁净标准，同时实现优异的离子平衡精度，产品符合RoHS、CEA相关标准，是**半导体制造等超低颗粒要求制程的核心静电控制解决方案。与传统依赖氮气流中微量气体电离的设备不同，4214通过高效电源直接电离氮分子，从根源保障电离效率与洁净度，适配22nm及以下先进制程节点需求。
核心产品优势
- **超低颗粒表现：采用可更换单晶硅电极，搭配ION Systems专属洁净机构，无颗粒向外释放，长期稳定保持超高洁净度，从源头避免颗粒污染。
- 免调试智能控制：搭载智能控制回路，无需任何人工校准操作，同时内置离子发生监测传感器，实时监控电离状态，确保除电效果稳定可靠。
- 集成化紧凑设计：控制器与电源一体化内置，机身小巧紧凑，适配设备内部等狭小安装空间，轻松实现机内集成应用。
- 多重**保护：具备低流量自动高压关断功能，当氮气流量不足时自动切断高压，有效保护设备本体，避免异常工况损坏。
- 便捷工况反馈：配备开关量接点信号输出，可实时输出设备报警及离子输出低下信号，便于产线工况监控与故障排查。
- 宽工况适配性：支持24V DC标准工业供电，适配高纯度氮气环境，耐受*高60℃气体温度，满足工业现场多样使用需求。
- 氮气节能模式：配备待机模式，低功耗运行的同时降低氮气流量，且能快速恢复电离输出，兼顾节能与作业效率。
详细技术规格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 输入电压 | 24V DC±5%，典型功耗6W |
| 离子平衡精度 | <±25V（150mm距离、40LPM流量、无配管连接） |
| 除电时间 | <10sec（150mm距离、40LPM流量、无配管连接，±1kV→±100V，带电板监测） |
| 离子发生方式 | 电晕放电式 高周波AC方式 |
| 洁净度等级 | ISO Class1(0.1μm)、扩展ISO Class1,10nm* |
| 电极 | 单晶硅，可更换 |
| 适配吹扫气体 | 氮气（纯度≥99.998%，推荐99.999%） |
| 氮气流量范围 | 40LPM(36.5Kpa)～90LPM(171kpa) |
| *大吹扫压力 | 207Kpa（对应100LPM流量） |
| *大耐受气体温度 | 60℃ |
| 使用温度范围 | 15～60℃ |
| 氮气吹扫接口 | Swagelok 3/8" OD配管 |
| 离子化氮气输出接口 | 1/4NPT内螺纹连接器；可选接头28-25710-SC接Swagelok1/2"OD配管 |
| 信号输出 | 开关量接点，输出报警、离子输出低下信号 |
| 外形尺寸 | 152.4mm(长)×72.4mm(宽)×32mm(厚)（不含配管部） |
| 产品重量 | 640g |
| 外壳材质 | 不锈钢 |
| 安装方式 | 背面M5螺丝固定，螺丝长度需小于10mm |
扩展ISO Class1,10nm 定义说明
该标准是ION Systems为应对微小颗粒管控需求专属制定的洁净度定义，区别于仅对100nm及以上颗粒做要求的ISO14644-1标准，其沿用ISO14644-1的颗粒数计算公式，对10nm及以上粒径颗粒的管控限值为1200个/立方米（34个/立方英尺），满足**制程的纳米级颗粒管控需求。
适用场景与行业
本产品凭借纳米级洁净度、高电离效率、免维护操作的核心特性，成为22nm及以下**半导体制造的核心适配设备，同时广泛应用于半导体晶圆加工、超高纯材料生产、精密微电子器件制造等对颗粒污染和静电控制有严苛要求的超低颗粒制程，尤其适合高纯度氮气环境下的在线式静电消除作业。
产品使用与配套说明
- 吹扫氮气需保证纯度≥99.998%，推荐使用99.999%高纯度氮气，确保电离效率与洁净度；
- 安装时需严格遵循M5螺丝、长度＜10mm的要求，避免螺丝过长损坏设备内部元件；
- 电极为可更换设计，长期使用后可单独更换电极组件，降低设备维护成本，保障持续的超低颗粒表现；
- 可接入产线控制系统，通过设备的开关量信号实时监控运行状态，实现智能化工况管理。